Первый серийный российский литограф, разработанный Зеленоградским нанотехнологическим центром, передадут заказчику в декабре 2026 года. Получателем установки станет производитель микроэлектроники «Маппер», входящий в «Ростех». О поставке сообщили источники, близкие к компании и Минпромторгу.
Оборудование рассчитано на проекционный перенос изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину. Установка предназначена для изготовления сверхбольших интегральных схем с топологической нормой 350 нм. Такие нормы применяют в силовой электронике, автоэлектронике и промышленных системах.
Кому передадут первый литограф
«Маппер» работает как современная МЭМС-фабрика в Технополисе «Москва». Компания выпускает чувствительные элементы на основе кремния по технологии микроэлектромеханических систем и использует 100-мм пластины.
Производственная площадка занимает 1500 кв. м чистых помещений. В составе предприятия более 30 единиц оборудования и около 70 специалистов. Проектная мощность достигает 5000 пластин в год.
Компания появилась в 2012 году как дочернее предприятие нидерландского холдинга Mapper Lithography. С апреля 2022 года «Маппер» принадлежит АО «ОКБ «Астрон», которое входит в холдинг «Швабе» госкорпорации «Ростех».
Вместе с «Астроном» «Маппер» участвует в проекте Минпромторга по серийному производству инфракрасных матриц для беспилотных летательных аппаратов и тепловизоров. К 2028 году в России планируют выпускать около 11,5 тыс. детекторов инфракрасного излучения ежегодно.
Характеристики установки и условия поставки
Литограф разработали совместно с белорусской компанией «Планар». Рабочее поле установки составляет 22×22 мм. Оборудование обрабатывает пластины диаметром до 200 мм.
Вместо традиционной ртутной лампы конструкторы применили твердотельный лазер. Такое решение обеспечивает большую мощность и энергоэффективность установки. Производительность достигает 63 пластин диаметром 150 мм или 43 пластин диаметром 200 мм в час.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Разрешение | 350 нм |
| Рабочее поле | 22×22 мм |
| Максимальный диаметр пластины | 200 мм |
| Базовая стоимость без НДС | 392 млн рублей |
| Стоимость с расширенным сервисом и пятилетней дополнительной гарантией | 561 млн рублей |
| Срок изготовления и поставки | 18 месяцев с момента внесения 50% аванса |
Базовая версия литографа стоит 392 млн рублей без НДС. Расширенное сервисное обслуживание и пятилетняя дополнительная гарантия увеличивают цену до 561 млн рублей. Сопоставимое зарубежное оборудование, по приведённой оценке, стоит на 40–60% дороже.
Срок изготовления и поставки составляет 18 месяцев после внесения 50% аванса. Если отсчитывать этот период от заключения контракта нельзя, поскольку в условиях поставки привязка сделана именно к авансу.
Второй заказчик и серийные контракты
После «Маппера» вторую серийную машину получит компания «Отраслевые решения», входящая в группу «Элемент». О такой поставке было известно ещё в сентябре 2025 года.
О наличии двух коммерческих контрактов на литографы говорил руководитель производства изделий РЭА ЗНТЦ Дмитрий Калбазов на выставке ExpoElectronica-2026. Представители ЗНТЦ от комментариев отказались. «Элемент» и «Маппер» на запросы не ответили.
Для отрасли это означает переход от опытной разработки к поставке оборудования конкретным производственным площадкам. В центре события находится не только сама установка, но и её применение в технологической цепочке изготовления полупроводниковых изделий.
Следующий этап: разрешение 130 нм
ЗНТЦ уже готовит следующее поколение оборудования. Установку с разрешением 130 нм разработали совместно с «Планаром», а опытный образец анонсировали в августе 2026 года.
Общая стоимость опытно-конструкторских работ по проекту составляет 5,7 млрд рублей. Серийные поставки литографов с разрешением 130 нм планируют начать с 2027 года.
Как вы оцениваете практическую ценность первой серийной машины для предприятия, которое выпускает кремниевые чувствительные элементы? Ответ зависит от того, насколько оборудование встроят в действующую производственную цепочку и как будет организовано сервисное сопровождение.
Что означает поставка для разработки оборудования
Создание литографа объединяет оптическую систему, лазерный источник, узлы перемещения и средства обработки пластин. В сообщении о проекте раскрыты ключевые параметры установки, её производительность и условия поставки. Эти характеристики уже позволяют оценить изделие как промышленное оборудование, предназначенное для работы на серийном производстве.
- ЗНТЦ разработал установку с разрешением 350 нм.
- «Планар» участвовал в создании литографа.
- Первым заказчиком станет «Маппер».
- Вторую машину передадут компании «Отраслевые решения».
- Следующее поколение оборудования с разрешением 130 нм планируют поставлять с 2027 года.
Поставка в декабре 2026 года станет проверкой готовности российского литографа к эксплуатации у заказчика. Результат будет зависеть от работы установки с пластинами диаметром 150 и 200 мм, заявленной производительности и сервисной поддержки.
Частые вопросы
Сколько стоит разработка?
В корпусе указана стоимость самого литографа. Базовая версия с разрешением 350 нм стоит 392 млн рублей без НДС, а с расширенным сервисным обслуживанием и пятилетней дополнительной гарантией цена достигает 561 млн рублей.
Какие сроки поставки первого российского литографа?
Первую серийную установку передадут «Мапперу» в декабре 2026 года. Общий срок изготовления и поставки составляет 18 месяцев с момента внесения 50% аванса.
Какие документы нужны от меня как от заказчика?
Источники не приводят перечень документов от заказчика. В них указаны получатель установки, её характеристики, стоимость и условия поставки.
Для чего предназначен российский литограф?
Оборудование переносит изображение фотошаблона на полупроводниковую пластину при изготовлении сверхбольших интегральных схем с топологической нормой 350 нм.
Когда появится литограф с разрешением 130 нм?
Опытный образец установки с разрешением 130 нм анонсировали в августе 2026 года. Серийные поставки планируют начать с 2027 года.
Позиция экспертов Реестр Гарант
Команда «Реестр Гарант» рассматривает поставку как переход российского литографа к промышленной эксплуатации. В проекте уже определены заказчики, характеристики установки, производительность и условия сервисного сопровождения. Следующим этапом станет серийное оборудование с разрешением 130 нм, поставки которого планируют с 2027 года.