В технологической цепочке микроэлектроники в стране запущён ещё один проект импортозамещения. Структура «Росатома» — АО «НИИграфит» — по контракту с Минпромторгом разработает отечественную установку формирования необожженной керамической ленты методом ленточного литья. Оборудование призвано заменить словенскую серию KEKO CAM-C и предназначено для выпуска керамических карт и многослойных керамических подложек — основы для корпусов микроэлектронных компонентов.
Контракт и сроки: что заказывают и на каких условиях
Соглашение на выполнение работ заключено 19 июня 2026 года. Стоимость контракта — 257 млн руб., что на 27,1 млн ниже начальной цены (284,1 млн руб.). Конкурс имел одного участника: договор подписан с АО «НИИграфит». Срок исполнения установлен до 31 октября 2028 года.
Назначение и функционал установки
Разрабатываемая установка должна обеспечивать получение керамической ленты с заданными параметрами по толщине, ширине, равномерности и качеству поверхности. По функционалу она ориентирована на замену оборудования KEKO CAM-C35 (серия CAM-C). Керамические ленты используются для изготовления керамических карт и многослойных керамических подложек — базовых элементов корпусов для микросхем и других электрорадиокомпонентов.
Автоматизация, компоненты и надёжность
В техническом задании особый акцент сделан на автоматизации процессов:
- система управления должна обеспечивать хранение рецептов и многоуровневый доступ;
- при выходе критических параметров за пределы — аварийную остановку с сохранением основных узлов;
- критические комплектующие — отечественного производства (включая ПЭТ-плёнки носителя, узлы нанесения покрытия, систему резки и кромления, средства измерения толщины и другие);
- химические вещества и функциональные материалы для испытаний — российского происхождения;
- требуемые показатели надёжности: наработка на отказ — не менее 1000 часов, срок службы — не менее 10 лет.
Было/становится: импортную машину заменят отечественной
| Было | Становится |
|---|---|
| Функциональный ориентир — словенское оборудование KEKO CAM-C35 (серия CAM-C). | Разработка собственной установки формирования керамической ленты методом ленточного литья. |
| Зависимость от импорта для линии изготовления подложек и карт. | Требование локализовать критические узлы и материалы: ПЭТ-плёнки, узлы нанесения покрытия, резка/кромление, измерение толщины и др. |
| Отсутствие единого решения с заданной автоматизацией под отечественные условия. | Система управления с хранением рецептов, многоуровневым доступом и аварийной остановкой. |
| Импортные поставки материалов для испытаний. | Российские химические вещества и функциональные материалы для испытаний. |
| Неопределённые показатели ресурса в рамках импортной линейки. | Наработка на отказ ≥ 1000 часов, срок службы ≥ 10 лет. |
| Неразработанная отечественная альтернатива. | Контракт Минпромторга на 257 млн руб., срок до 31.10.2028. |
Исполнитель: научный институт внутри структуры «Росатома»
АО «НИИграфит» — научно-исследовательский институт конструкционных материалов на основе графита. Организация специализируется на разработке и производстве графитов, углеграфитовых композитов, углерод-керамических и других материалов для атомной, космической, оборонной и электронной промышленности. Ранее «НИИграфит» участвовал в проектах для ядерной энергетики, аэрокосмической отрасли и микроэлектроники.
Контекст микроэлектроники: параллельный проект литографа 130–65 нм
На фоне запуска установки для керамических подложек идёт ещё один проект по технологическому оборудованию для чипов. Согласно опубликованной информации, в рамках тендера Минпромторга стоимостью 5,7 млрд победителем стало АО «Зеленоградский нанотехнологический центр», которое должно выполнить разработку до ноября 2026 года. Речь идёт о фотолитографической установке с минимальной топологией 130 нм.
Установка должна включать специальное оптическое устройство, систему загрузки фотошаблона, камеру с высокой точностью стабилизации температуры и программное обеспечение. Источник приводит слова руководителя компании:
«Одним из основных компонентов оборудования станет отечественный лазер. Мы рассматриваем несколько партнёров».
По оценкам специалистов, в случае успешной реализации на таком оборудовании можно будет производить микросхемы с топологией от 130 до 65 нм. Эти решения востребованы для интернета вещей, кассового оборудования и автомобильной электроники. Отмечается, что отсутствие собственного оборудования остаётся одной из ключевых проблем развития отрасли радиоэлектроники, при этом до 2030 года планируется разработка оборудования с проектными нормами 250–28 нм, а также решений для норм 22–20 нм и 16–14 нм в соответствии со стратегией, утверждённой в январе 2020 года.
Технологическая цепочка: от подложек до экспонирования
Керамические подложки и карты — один из базовых элементов корпусов микроэлектронных компонентов: они влияют на тепловые, механические и электрические свойства готовых изделий. Фотолитография обеспечивает формирование рисунка на пластинах под заданные технологические нормы, например 130–65 нм. Совместное развитие таких участков технологической цепочки уменьшает зависимость от внешних поставок оборудования и материалов, позволяет производить больше операций внутри страны и делает проекты по микроэлектронике более устойчивыми к внешним ограничениям.
Другие инициативы структур «Росатома»: примеры локализации в смежных областях
В конце июня 2026 года показаны рабочие прототипы электромобилей на универсальной платформе «Войт» класса B/B+, разрабатываемых в структуре «Росатома». Представлены компактный фургон «Войт LCV» с оригинальным несущим композитным корпусом и кроссовер «Войт SUV» (разработан совместно с Московским Политехом). По сообщениям, уровень локализации платформы и компонентов высок: в опытном «Войт LCV» доходит до 60% собственных компонентов, общий уровень локализации машины превышает 90%.
Фургон ориентирован на службы доставки: около 3 куб. м грузового отсека и до 600 кг полезной нагрузки, заявленный запас хода — порядка 300 км при АКБ 32 кВт·ч с учётом особенностей зимней эксплуатации. «Войт SUV» оснащается батареей 42 кВт·ч с запасом хода до 337 км (по WLTC), также сообщается о варианте 84 кВт·ч с запасом хода до 670 км. Разработчики указывают, что разговор о серийном производстве возможен в районе 2028–2029 годов, после прохождения опытной серии, испытаний, доработок и сертификации.
Что это меняет для отрасли
- Снижение зависимости от импорта: замена KEKO CAM-C35 и создание отечественной литографии 130 нм решают узкие места в производстве корпусов и экспонировании рисунка.
- Рост доли отечественных компонентов: требования по локализации критических узлов, материалов и химии формируют спрос на российские решения.
- Фокус на надёжности и автоматизации: заданные показатели ресурса и функционал системы управления повышают повторяемость процесса и качество изделий.
- Расширение номенклатуры применений: чипы 130–65 нм востребованы в IoT, кассовой и автомобильной электронике, а керамические подложки — ключевой компонент упаковки для этих изделий.
Частые вопросы
Что именно разработает структура «Росатома»?
АО «НИИграфит» создаст установку формирования необожженной керамической ленты методом ленточного литья для производства керамических карт и многослойных керамических подложек — основы корпусов микроэлектронных компонентов.
Какова стоимость и срок исполнения контракта?
Контракт Минпромторга заключён на 257 млн руб. (снижение на 27,1 млн руб. от начальной цены 284,1 млн руб.) с исполнением до 31 октября 2028 года.
Какие требования предъявлены к установке?
Система управления должна хранить рецепты и обеспечивать многоуровневый доступ, при выходе критических параметров — аварийно останавливать оборудование. Критические комплектующие и материалы для испытаний — российского производства. Наработка на отказ — не менее 1000 часов, срок службы — не менее 10 лет.
Какое импортное оборудование планируют заменить?
Функциональным ориентиром выступает словенская серия KEKO CAM-C, в частности KEKO CAM-C35.
Кто исполняет работы?
АО «НИИграфит» — институт конструкционных материалов на основе графита, входящий в структуру «Росатома», с опытом проектов для атомной, космической, оборонной и электронной промышленности.
Есть ли другие проекты по оборудованию для чипов?
Да. По данным о тендере Минпромторга стоимостью 5,7 млрд победителем стало АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» для разработки фотолитографической установки 130 нм с выполнением до ноября 2026 года. По оценкам специалистов, на таком оборудовании можно будет выпускать чипы 130–65 нм.
Позиция экспертов Реестр Гарант
Контракт на 257 млн руб. с чёткими требованиями к автоматизации и локализации критических компонентов показывает, что импортозамещение в микроэлектронике стало адресным и с измеримыми метриками — от наработки на отказ до состава материалов. Параллельный проект литографа 130 нм дополняет участок упаковки чипов: в связке такие инициативы закрывают критические операции технологической цепочки и снижают риски поставок оборудования.
