Минпромторг заключил с петербургским АО «Научное и технологическое оборудование» (АО «НТО», бренд SemiTEq) контракт на разработку установки молекулярно-лучевой эпитаксии. Стоимость работ составляет 1,475 млрд рублей. Проект получил название «Цитадель» и должен создать отечественное оборудование для производства полупроводниковых материалов и чипов.
Новая установка предназначена для получения кристаллических гетероструктур на основе соединений индия, алюминия, галлия и арсенида — InAlGaAs. Оборудование должно заменить французскую установку Riber 49 и американскую Veeco GEN200. Прямых отечественных аналогов такой техники в России сейчас нет.
Что разработает «НТО» по контракту
Основная задача проекта — создать установку молекулярно-лучевой эпитаксии с групповой загрузкой подложек. Эпитаксия — это выращивание монокристаллической пленки на подложке. Такой технологический процесс применяют для формирования кристаллических гетероструктур, которые используются при производстве полупроводниковых материалов.
Работы должны завершиться до 31 октября 2030 года. За это время АО «НТО» предстоит разработать конструкторскую документацию с литерой «О1» и изготовить опытный образец установки.
| Параметр | Требование проекта |
|---|---|
| Название проекта | «Цитадель» |
| Тип оборудования | Установка молекулярно-лучевой эпитаксии |
| Материал гетероструктур | Соединения индия, алюминия, галлия и арсенида |
| Диаметр подложек | 76 и 100 мм |
| Групповая загрузка | Не менее пяти подложек диаметром 76 мм или трех подложек диаметром 100 мм |
| Срок завершения работ | До 31 октября 2030 года |
Как проект должен обеспечить импортозамещение
Техническое задание содержит отдельные требования к критическим комплектующим. В установке должны использоваться российские вакуумные камеры и насосы, молекулярные источники, запорно-вакуумная арматура, центральный контроллер системы управления и программное обеспечение.
Иностранные критические комплектующие разрешено применять только при двух условиях: их использование нужно обосновать в техническом проекте, а Минпромторг должен письменно согласовать такое решение. Таким образом, импортозамещение заложено не только в назначении «Цитадели», но и в составе оборудования.
При успешном выполнении контракта российские предприятия получат установку для эпитаксии с заданными параметрами обработки подложек. В проекте речь идет именно об опытном образце, который «НТО» должен изготовить после подготовки конструкторской документации.
Опыт компании и производственная база
АО «НТО» — российский разработчик специального технологического оборудования для электронной промышленности. Компания основана в 2001 году и уже имеет опыт создания и серийного выпуска установок молекулярно-лучевой эпитаксии для полупроводниковых материалов.
В 2025 году «НТО» разработала производственно-ориентированные установки, которые стали первыми отечественными образцами оборудования для молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках диаметром 150 мм. В распоряжении компании находятся собственная конструкторская и производственная база, а также прикладная лаборатория.
По сведениям базы «Контур.Фокус», АО «НТО» зарегистрировано в апреле 2001 года. Единственным учредителем компании указано ООО «Комплектующие и материалы». Это юридическое лицо принадлежит Алексею Алексееву с долей 81,2%, Игорю Соколову с долей 15,8% и Станиславу Петрову с долей 3%.
Что означает контракт для радиоэлектронной отрасли
Контракт Минпромторга направлен на создание оборудования, для которого в России нет прямых аналогов. Его предмет — не выпуск готовых чипов, а разработка технологической установки для выращивания монокристаллических пленок и формирования гетероструктур на подложках.
Ключевой результат проекта появится не сразу: срок завершения работ установлен на конец октября 2030 года. До этого «НТО» должна пройти этап конструкторской разработки и изготовить опытный образец с групповой загрузкой подложек.
Отдельный акцент сделан на технологической независимости. Перечень критических компонентов охватывает вакуумную часть, молекулярные источники, арматуру, систему управления и программное обеспечение. Для отрасли радиоэлектроники это означает попытку создать не отдельный узел, а комплексное отечественное решение для молекулярно-лучевой эпитаксии.
Частые вопросы
Кто получил контракт на разработку установки?
Контракт Минпромторг заключил с петербургским АО «Научное и технологическое оборудование» (АО «НТО», SemiTEq).
Какова сумма контракта?
Стоимость контракта составляет 1,475 млрд рублей.
Какое оборудование должна заменить «Цитадель»?
Установка должна заменить французскую Riber 49 и американскую Veeco GEN200.
Для чего предназначена установка молекулярно-лучевой эпитаксии?
Она предназначена для выращивания монокристаллической пленки на подложке и получения кристаллических гетероструктур на основе соединений индия, алюминия, галлия и арсенида.
Когда должны завершиться работы?
АО «НТО» должно завершить работы до 31 октября 2030 года.
Какие иностранные комплектующие допускаются в проекте?
Иностранные критические комплектующие допускаются только при наличии обоснования в техническом проекте и письменного согласования с Минпромторгом.
Позиция экспертов Реестр Гарант
Команда «Реестр Гарант» отмечает, что контракт охватывает разработку технологического оборудования, а не выпуск готовых чипов. Для проекта критичны требования к российскому происхождению вакуумных компонентов, молекулярных источников, системы управления и программного обеспечения. Результат работ должен появиться до 31 октября 2030 года.
